SKY电容膜片真空计INFICONCDG160D、CDG200D

SKY 电容膜片真空计INFICON CDG160D、CDG200D：

SKY® CDG160D 1 ... 1000 托 / 毫巴

INFICON SKY CDG160D 高温压力计是实现总压测量与控制的理想之选。CDG160D 真空计温度控制在 160 °C，具有的性能，适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 1 托至 1000 托满刻度范围内均可使用，带有所有常用类型的法兰和现场总线接口，能够提供 0 至 10V、不受气体类型限制的线性压力信号。 INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜，具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 品质，成本效益，适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。

SKY® CDG200D 1 ... 1000 托 / 毫巴

INFICON SKY CDG200D 高温压力计是实现总压测量与控制的理想之选。CDG200D 真空计温度控制在 200 °C，具有的性能，适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 1 乇至 1000 乇满刻度范围内均可使用，带有所有常用类型的法兰和现场总线接口，能够提供 0 至 10伏、不受气体类型限制的线性压力信号。 INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜，具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 品质，成本效益，适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。

益处

• 拥有成本更低，预热速度快 50%，节能，低功耗

• 易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设

• 轻松一键调零或远程信号调零指令，可调零点偏移

• 诊断端口用于快速维修和维护

• 两年保修服务，加热概念和真空计保护延长了使用寿命

• 的信号稳定性和可重复性，即使是苛刻的等离子应用，都无需长期执行重新校准

• 合规性与标准： CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型应用

• 用于刻蚀、CVD、PVD 和其他半导体制造过程

• 化学和腐蚀性高温过程

• 需要真空计保护的一般薄膜和真空过程